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3-14
烤膠機整個面板溫度均勻,對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會產(chǎn)生皮膚效應。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因為較靠近基片的膜層會固化好,然后是膜層靠外的部分。該機由于升溫,所以產(chǎn)量較高。烘烤時間用秒計算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算。該機主要有機箱、加熱部件和電控系統(tǒng)組成。機箱由箱體、罩殼和箱蓋組成。加熱的部件由加熱板、加熱元件及保溫層、隔熱層組成。電控系統(tǒng)由控溫儀、繼電器、熱電偶、開關、指示燈、風扇、插座等組成。控溫儀、電源開關、指示燈...
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旋轉涂覆技術一般采用設備是自動勻膠顯影機。勻膠機有很多種稱謂,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速勻膠顯影機度及時間有關。自動勻膠顯影機清洗保養(yǎng)內(nèi)容:1.裝置殼體及蓋板:用純水浸濕的無塵布擦拭設備外殼,及顯影室、水洗室蓋。污物不能擦去純水可...
2-24
勻膠機轉速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。勻膠機的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。勻膠機的操作說明:(1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣本尺寸),將缺口對準螺釘安裝,...
2-17
伺服勻膠機一個典型的勻膠過程包括滴膠,高速旋轉以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上,高速旋轉把光刻膠鋪展到基片上形成薄層,干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠。靜態(tài)滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心。滴膠的多少應根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個基片上都涂到膠。伺服勻膠機動態(tài)滴膠方式是在基片低速旋轉的同時進行滴膠,“動態(tài)”的作用是讓...
2-8
臺式勻膠機主要由樣品臺、滴膠裝置和空心電動機組成,其工作原理是,通過在樣品臺上產(chǎn)生負壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上,光刻膠液滴注在基底材料的表面,通過準確控制電動機的旋轉速度,以此來改變離心力的大小,同時通過控制膠液的流量來達到制備薄膜所需的厚度。臺式勻膠機常用的滴膠方式分為兩種,即靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠。靜態(tài)滴膠是在基片靜止時將光刻膠滴注到基片的中心位置,滴膠量還應根據(jù)光刻膠的黏度和基片的大小來確定。當光刻膠黏度較高或基片尺寸較大時,需要更多的光刻膠才能保證在高速旋轉過程...
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控溫電解雙噴儀使用注意事項:一、電源箱:電解減薄所用的電解液有很強的腐蝕性,所以在操作過程中,嚴禁電解液與計算機數(shù)據(jù)線接觸。在開機前必須檢查各部分連接是否正確。先確認電極插接良好,然后再啟動儀器電源開關,調(diào)整好泵速度,在試驗過程中根據(jù)實際情況改變泵速度。在試驗結束后,清潔電源箱。保持試驗室內(nèi)通風良好。二、電解槽:控溫電解雙噴儀電解槽內(nèi)部安裝有制冷片,所以要求電解槽在移動過程中輕拿輕放,嚴禁碰撞;噴完樣品后,將電解液倒入干凈的燒杯中,然后再倒入盛放電解液的容器中,電解液可以重復...
1-17
電解雙噴減薄儀是應用于透射電子顯微鏡金屬試樣制備的專用設備。減薄儀采用計算機控制,半導體制冷,樣品制備過程中全程自動化。由于采用了半導體制冷技術,開機后可以在短時間內(nèi)將電解液的溫度降低。減薄儀具有多種功能設置,可以根據(jù)您的要求選擇不同的工作參數(shù),完成不同的工作程序。減薄儀運用半導體制冷技術,能夠迅速降低電解液溫度,免除應用液氮或干冰制冷所產(chǎn)生的麻煩和危險,并保持溫度穩(wěn)定,確保樣品制備工藝規(guī)范統(tǒng)一。穿孔檢測采用CCD作為感光部件,能實時監(jiān)控,大大提高了穿孔報警的靈敏度,同時也能...
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